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    IH600

    • 性能特点:

    应用l  负载锁定l  转换l  计量l  平版印刷l  PVD制程l  PVD预清洁l  RTAl  剥离/灰化l  刻蚀l  植入源l  HDP CVDl  

    1. 详细信息

    应用

    l  负载锁定

    l  转换

    l  计量

    l  平版印刷

    l  PVD制程

    l  PVD预清洁

    l  RTA

    l  剥离/灰化

    l  刻蚀

    l  植入源

    l  HDP CVD

    l  RTP

    l  SACVD

    l  MCVD

    l  PECVD

    l  LPCVD

    l  ALD

    功能与优势

    l  优化了设施消耗

    l  无需预防性维护

    l  悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

    l  在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性

    l  耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

    l  较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证

    l  轴杆一体化设计无需电机联轴器,第五抽排级免除对消音器的需求,也避免了颗粒堆积,两者均减少了总体占地空间

    泵系列

    实践证明,Edwards高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。

    iH系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。

    ·        iH80

    ·        iH160

    ·        iH600

    ·        iH1000

    ·        iH1800

    ·        iH1800HTX


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